北京燕东微电子 北京万侯微电子超纯水处理技术

    

超纯水处理

超纯水系统分为预处理、反渗透系统、精脱盐系统及产品水储存输送系统等部分。

设计原则

1.操作安全、运行稳定、易于管理

2.具备完善、可靠的自我保护功能

3.具备良好的故障恢复性能

4.具备最佳运行状态重现性

系统阶段质量标准(25°C)

1.一级反渗透产水电阻率 ρ>0.1MΩ.cm

2.二级反渗透产水电阻率 ρ>1.0MΩ.cm

3.EDI电脱盐产水电阻率 ρ>15.0MΩ.cm

北京燕东微电子 北京万侯微电子超纯水处理技术

4.产品水电阻率 ρ>18.0MΩ.cm

系统阶段性能

1.一级反渗透RO系统水利用率 ≥75%

2.二级反渗透RO系统水利用率 ≥85%

3.EDI电脱盐系统水利用率 ≥90%

4.产品水电阻率 >18.0MΩ.cm

5.RO膜使用寿命不低于3年,三年后RO膜脱盐率>95%

EDI膜块使用寿命不低于3年

流程图

主要设备索引

多介质过滤器

活性炭过滤器

精密过滤器

全自动软水器

RO反渗透膜

混床

UF超滤

UV紫外线消毒器

水箱

纯水和膜处理工艺

在纯水处理、尤其是超纯水处理工艺中,各种膜处理工艺被广泛地使用。不同的过滤器能滤除对应的杂质。

每种膜处理设备都有各自的进水要求,所以,纯水处理工艺都是用低级别的过滤设备作为高级别过滤器的前级。

经过RO反渗透的水,其中盐分被过滤掉,才能测量出水的电阻率出现升高。对于超纯水需要二级反渗透才能满足要求。
 


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