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装有滑片的偏置转子在泵腔内作回转运动﹐使由滑片分隔的泵腔工作室容积周期性变化以实现抽气的真空泵﹐又称滑片真空泵。图 旋片真空泵的工作原理 为旋片真空泵的工作原理。它主要由泵体(静子)和转子组成。在转子槽中装有两块以上的滑片﹐有些泵滑片间还装有弹簧。转子偏心地装在泵腔内﹐其外缘与泵腔顶部表面的间隙为2～3微米。转子旋转时﹐在离心力等作用下﹐滑片沿槽作往复滑动并与泵腔内壁始终保持接触﹐将泵腔分成两个或几个可变容积的工作室。转子顺时针方向旋转时﹐与吸气口相通的吸气腔容积由零逐渐增大﹐腔内气体压力降低﹐被抽气体便从吸气口源源不断地吸入(图中a 旋片真空泵的工作原理 )。同时﹐与排气口相通的排气腔容积由大变小﹐吸入腔内的气体被压缩﹐待气体压力高于大气压力时﹐推开排气阀排出大气(图中b 旋片真空泵的工作原理 )。转子连续转动﹐泵便不断抽气。 排气阀浸在油里﹐油通过排气阀和油孔进入泵腔﹐使泵腔内所有运动件的表面覆盖一层油膜﹐密封住吸气腔与排气腔间的间隙﹐防止气体返流。这些油还能减少排气腔内的有害空间﹐以消除它们对极限压力的影响。因此这种真空泵是一种油封式机械真空泵。随着技术的发展﹑制造工艺的完善和优质材料的选用﹐小型滑片真空泵的转轴可与电动机轴直联﹐转速可高达1450转/分﹐大大提高了泵的抽气速率和减轻了泵的重量。
滑片真空泵的抽速范围为0.5～150升/秒(1升＝10-3米3)﹐工作压力范围一般为1×105～1帕﹐较大抽速的压力范围为1×105～13帕。极限压力﹕单级泵为1帕﹐双级泵为6.5×10-2帕。旋片真空泵一般只适于抽除干燥或含有少量可凝性蒸汽的气体(对于后者须装气镇阀)﹐不适于抽除含氧过高﹑爆炸性﹑腐蚀性﹑对泵油起化学作用和含有固体颗粒的气体。在真空系统中﹐这种泵可单独使用﹐或作为增压泵﹑扩散泵等的前级泵。
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