爱华网
电子探针X射线微区分析
electron probe X-ray microanalysis
用聚焦极细的电子束轰击固体的表面，并根据微区内所发射出X射线的波长（ 或能量）和强度进行定性和定量分析的方法。
仪器 主要组成部分（见图）为：①电子光学系统。其功能是产生电子并使它聚焦于试样表面。包括图中1、2、3、4部分。② 样品室 、附移动机构，可把待测点置于电子束之下。即图中的6。③ 光学显微镜。用于选择待测区和观察电子束轰击试样。即图中的5。④X射线分光计。分辨不同波长（或能量）的特征。即图中的7、8。⑤电子信号探测器。即图中的9、10。⑥计数、记录系统。主要包括图中的16、17、19、20、23部分。⑦图像显示系统。即图中的18。 ⑧电源和真空系统。即图中的12、13、15。真空系统使电子光学系统，样品室和X射线分光计处于高真空状态。⑨电子计算机。
特点和功能 ①可以在不损伤原样的情况下，直接在磨光的样品表面随意选点，最小分析体积约1立方微米。② 可分析元素周期表中从铍至铀的所有元素。定量分析的相对误差低于±2％，常规分析的检出限为0.05％～0.01％ 。③利用元素的 X 射线强度变化曲线和图像及等值线图可研究元素的分布状况。④利用二次电子图像，反向散射电子图像和样品电流图像可显示试样表面形貌和组成的变化。⑤可观察试样的电子荧光并进行某些晶体化学研究。
电子探针X射线微区分析仪的基本结构以上就是网友分享的关于"电子探针X射线微区分析"的相关资料，希望对您有所帮助，感谢您对爱华网的支持！
